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氦檢漏儀作為一種磁偏轉型質譜分析儀器，結構上分單級磁偏轉型和雙級串聯偏轉性，具體的結構原理。而在結構組成上，大部分氦檢漏儀就是由質譜室、真空系統以及電氣系統3部分組成的：質譜室是這種真空檢漏儀器的心臟，又包括離子源、分析器、收集器、前級放大器、冷陰極電離真空計等組成部分；真空系統用于為質譜室提供真空工作條件，保證氦離子的傳輸率；電氣系統的核心功能就是為質譜室供電與測量。另外在有些條件下，氦質譜檢漏可能還會需要輔助真空系統，完成一些預抽、保證檢漏儀真空度等工作。  

氦檢漏儀是采集被檢件中的氣體將其電離，根據不同種類氣體離子質荷比不同的特點，利用磁偏轉分離原理將其區分開。儀器只對示漏氣體氦氣有相應信號，而對其他氣體沒有反應，屬于單一檢漏儀器。檢漏過程中，一旦出現信號，就說明有氦氣通過漏孔進入被檢件，從而指示漏率大小。之所以選擇氦氣作為示漏氣體，主要是因為氦質量輕，易于穿過漏孔，擴散快，對分析設備制造的要求相對簡單；同時氦氣在空氣中含量少，本底信號小，又為惰性氣體，不易發生反應等，都為提高儀器靈敏度創造了條件。  

氦檢漏儀有漏率靈敏度參數，它是儀器在出廠時經過校準的在較佳條件下所能實現的儀器靈敏度，稱之為檢漏靈敏度。然后在具體檢漏過程中，氦檢漏儀的檢漏方法也較多，有正壓法、負壓法、氦罩法、真空箱法、背壓法等眾多形式，可結合實際情況靈活運用。